Built-in Mask方法による3次元光回路用マイクロミラー付きフィルム導波路

Built-in Mask方法による3次元光回路用マイクロミラー付きフィルム導波路
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采用内置掩模法的用于 3D 光路的带微镜的薄膜波导

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
エレクトロニクス実装学会誌 Vol.8 no.3
影响因子:
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通讯作者:
浅間邦彦
浅間邦彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
井ノ口誠子;森谷聡史;山本孝;新井享彦;吉村徹三;浅間邦彦

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