等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王小峰
中科院分区：
文献类型：
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作者：
汤宝寅;王浪平;王小峰
