R.Itatani et.al: "The Control of Electron Temperature by Pulse Modulated Microwave" Proc.7th Symp.on Plasma Processing. 1-4 (1990)
R.Itatani et.al: "The Control of Electron Temperature by Pulse Modulated Microwave" Proc.7th Symp.on Plasma Processing. 1-4 (1990)
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R.Itatani 等人：“脉冲调制微波控制电子温度”Proc.7th Symp.on 等离子体处理。
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