大型自由形状光学素子の表 面計測を可能にする小型干渉計
大型自由形状光学素子の表 面計測を可能にする小型干渉計
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紧凑型干涉仪，可对大型自由曲面光学元件进行表面测量
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今西萌仁加
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsujimoto;M.;Tashiro;M.;Ishisaki;Y.;Yamada;S.;Seta;H.;Mitsuda;K.;Boyce;K.;Eckart;M.;Kilbourne;C.;Leutenegger;M.;Porter;F.;Kelley;R.;今西萌仁加
