Inhomogeneous intrinsic stress in sputtering-deposited platinum films and its effect on the formation of helical structures
Inhomogeneous intrinsic stress in sputtering-deposited platinum films and its effect on the formation of helical structures
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溅射沉积铂薄膜的不均匀内应力及其对螺旋结构形成的影响
DOI：
10.1016/j.tsf.2022.139344
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
X. Zhao and M. Muraoka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Garas. K.;Watanabe. T., Yamazaki. Y.;Komagoe. T.;X. Zhao and M. Muraoka
DOI：
10.1179/imr.1989.34.1.53
发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
--
作者：
F. d'Heurle
通讯作者：
F. d'Heurle