Analysis of crystallographic orientation dependence of low energy SEM contrast associated with the hexagonality of silicon carbide
Analysis of crystallographic orientation dependence of low energy SEM contrast associated with the hexagonality of silicon carbide
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低能 SEM 对比度与碳化硅六方性相关的晶体取向依赖性分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tadaaki Kaneko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji Ashida;Yasunori Kutsuma;Noboru Ohtani;Tadaaki Kaneko
