Failure analysis on 14 nm FinFET devices with ESD CDM failure
Failure analysis on 14 nm FinFET devices with ESD CDM failure
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14nm FinFET 器件 ESD CDM 失效分析
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Z. Mai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shaalini Chithambaram;P. K. Tan;Yuzhe Zhao;Binghai Liu;Y. Ma;A. Quah;D. Nagalingam;Yanlin Pan;Z. Mai
