高能率・高精度研磨法の新提案
高能率・高精度研磨法の新提案
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高效率、高精度抛光方法的新方案
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田北隆浩，久保田章亀，本山修也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;Sakae Fukuyama;Yuya Ichimori and Mutsumi Touge;永江伸,久保田章亀,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦;田北隆浩，久保田章亀，本山修也
