K.Nakagawa: "Insights into Surface Reactions during a-SiGe:H Deposition and Hydrogen Plasma Annealing as Obtained from Infrared Attenuated-Total Reflection Spectroscopy" J.Non-Cryst.Solids. (印刷中). (1998)
K.Nakagawa: "Insights into Surface Reactions during a-SiGe:H Deposition and Hydrogen Plasma Annealing as Obtained from Infrared Attenuated-Total Reflection Spectroscopy" J.Non-Cryst.Solids. (印刷中). (1998)
复制标题
K. Nakakawa：“从红外衰减全反射光谱中了解 a-SiGe:H 沉积和氢等离子体退火过程中的表面反应”J. Non-Cryst Solids（出版中）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
