H.Ito: "High frequency ion sources for ion implantation." Proc. of 11th Int. Conf. on Ion Implantation Technology. (予定). (1997)
H.Ito: "High frequency ion sources for ion implantation." Proc. of 11th Int. Conf. on Ion Implantation Technology. (予定). (1997)
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H.Ito:“第 11 届离子注入技术会议的高频离子源”(计划)。
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