スパッタ法を用いたプロトン伝導性酸化物薄膜の成膜条件依存性

スパッタ法を用いたプロトン伝導性酸化物薄膜の成膜条件依存性
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使用溅射法沉积质子传导氧化物薄膜的条件依赖性

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
内山 潔
内山 潔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
佐藤 智也;内山 潔

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