Production of radio frequency magnetron plasma by monopole arrangement of magnets for target uniform utilization

Production of radio frequency magnetron plasma by monopole arrangement of magnets for target uniform utilization
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通过磁体单极排列产生射频磁控管等离子体以实现靶均匀利用

DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
Vacuum
影响因子：
4
通讯作者：
T.Tabaru
T.Tabaru
中科院分区：
材料科学2区
文献类型：
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作者：
Y.Ohtsu;M.Shigyo;M.Akiyama;T.Tabaru

文献摘要

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