アルコール希釈TMAHを用いた窒化ガリウムのウエットエッチング
アルコール希釈TMAHを用いた窒化ガリウムのウエットエッチング
复制标题
使用酒精稀释的 TMAH 湿法蚀刻氮化镓
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
濵屋有志，岡本萌，新海聡子
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Izumiya;R. Tsunata;M. Takemoto;J. Imai;T. Saito and T. Ueno;濵屋有志，岡本萌，新海聡子
