三维机构的邻近效应

三维机构的邻近效应
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DOI:
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发表时间:
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期刊:
微细加工技术 2006.04 P5-9
影响因子:
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通讯作者:
张玉林等
张玉林等
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
郝惠娟;张玉林等

文献摘要

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