Optical metrology of patterned magnetic structures : deep versus shallow gratings
Optical metrology of patterned magnetic structures : deep versus shallow gratings
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图案化磁结构的光学计量：深光栅与浅光栅
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Okamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R.Antos;M.Veis;E.Liskova;M.Aoyama;J.Hamrle;T.Kimura;P.Gustafik;M.Horie;J.Mistrik;T.Yamaguchi;S.Visnovsky;N.Okamoto
正弦光栅上的光谱椭圆测量
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Appl.Surf.Sci. 244(1-4)
影响因子：
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作者：
R.Antos;I.Ohlidal;J.Mistrik;T.Yamaguchi
通讯作者：
T.Yamaguchi