Investigation of Pyrolyzed Polyimide Thin Film as MEMS Material

Investigation of Pyrolyzed Polyimide Thin Film as MEMS Material
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热解聚酰亚胺薄膜作为 MEMS 材料的研究

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Vol.5,No.1
影响因子：
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通讯作者：
S.Konishi
S.Konishi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Naka;H.Nagae;M.Ichiyanagi;Ok Chan Jeong;S.Konishi

文献摘要

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