Deformations of crystalline structures in silicon wafer induced by femtosecond laser
Deformations of crystalline structures in silicon wafer induced by femtosecond laser
复制标题
飞秒激光引起硅片晶体结构的变形
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Tsujino;T. Sano;N. Ozaki;O. Sakata;M. Okoshi;N. Inoue;R. Kodama;A. Hirose
