A hybrid actuator-driven compact tilting motion table system for multi-axis ultraprecision machine tool, 11th International Conference of the euspen
A hybrid actuator-driven compact tilting motion table system for multi-axis ultraprecision machine tool, 11th International Conference of the euspen
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用于多轴超精密机床的混合执行器驱动的紧凑型倾斜运动台系统，第11届euspen国际会议
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Sawano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mamoru Hayashi;Hayato Yoshioka;Hidenori Shinno;Hiroshi Sawano
