アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究
アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究
复制标题
非晶ITO和IGZO薄膜的结晶化研究
DOI:
--
复制
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
重里有三
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
岩﨑慎平;山本新吾;賈 軍軍;岡島敏浩;重里有三