アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究

アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究
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非晶ITO和IGZO薄膜的结晶化研究

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
重里有三
重里有三
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
岩﨑慎平;山本新吾;賈 軍軍;岡島敏浩;重里有三

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