微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-
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微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-10 nm尺寸缺陷接触检测模拟实验-
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsubota;K.;Kodama;Y. and Kanai;R.;市川靖，大島伸行，田渕雄一郎;Naoya Ochiai and Jun Ishimoto;N. Oshima1 and L. Wang;松野優紀，大場優太，清水裕樹，高偉
