Osamu Tsuda: "Effects of phase regulation on ion energy distribution in RF bias sputtering"Plasma Source Science & Technology. 8. 392-396 (1999)
Osamu Tsuda: "Effects of phase regulation on ion energy distribution in RF bias sputtering"Plasma Source Science & Technology. 8. 392-396 (1999)
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津田修：“射频偏压溅射中相位调节对离子能量分布的影响”Plasma Source Science
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