Si/SiNチューナブル波長フィルタの作製と評価に関する研究
Si/SiNチューナブル波長フィルタの作製と評価に関する研究
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Si/SiN可调谐波长滤波器的制备与评价研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
依田秀彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田島正彦;依田秀彦
