Inner Wall Coating of Narrow Tube by Low-pressure and Hifh Frequency Microplasmas

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低压高频微等离子体窄管内壁涂层

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc. of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23) P-3A-59
影响因子：
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通讯作者：
Y.Nitta
Y.Nitta
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Saida;M.Sasao;M.Isobe;A.V.Krasilnikov;R.Kumazawa;T.Mutoh;T.Watari;T.Seki;K.Saito;M. Sasao;笹尾真実子;M. Sasao,;M. Sasao;M. Sasao^1;M. Sasao;M. Sasao;M. Sasao;K. Okada;S.KITAJIMA;S. KITAJIMA;H.Fujiyama;Y.Nitta

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