クラスタープラズマによるSiドープDLCの除去技術
クラスタープラズマによるSiドープDLCの除去技術
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使用簇等离子体的硅掺杂 DLC 去除技术
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田健一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeshi Uemori;Satoshi Sumikawa;Fusahito Yoshida;Tomonori Kato;池田健一
