AFMリソグラフィによるナノコンタクトの作製

AFMリソグラフィによるナノコンタクトの作製
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通过 AFM 光刻技术制造纳米触点

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
竹村泰司
竹村泰司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
菅沼秀教;チャンキョンミン;岩田大輔;山田努;竹村泰司

文献摘要

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