基于柔性衬底的双端固支梁 RF MEMS 开关 相位特性研究
基于柔性衬底的双端固支梁 RF MEMS 开关 相位特性研究
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DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
韩磊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
隋东辰;陈立军;韩磊
