Electrostatic chuck consisting of electrostatic inductive polymer fibers for handling of curved surface
Electrostatic chuck consisting of electrostatic inductive polymer fibers for handling of curved surface
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由静电感应聚合物纤维组成的静电吸盘，用于处理曲面
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shigeki SAITO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji SAWAI;Wataru TAKARADA;Takeshi KIKUTANI;Kunio TAKAHASHI;Shigeki SAITO
