水素導入DCマグネトロンスパッタによるInGaZnO薄膜の成膜と薄膜トランジスタ応用
水素導入DCマグネトロンスパッタによるInGaZnO薄膜の成膜と薄膜トランジスタ応用
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引氢直流磁控溅射InGaZnO薄膜沉积及薄膜晶体管应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
戸田達也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鶴田 浩之;尼子 雅章;長岡 正宏;高尾 俊郎;鈴木 寛治;戸田達也
