Takeo Kubota: "Real Time Spectroscopic Ellipsometry Study on Growth Process of ZrO_2 Thin Films in Metallorganic Chemical Vapor Deposition"Journal of the Electrochemical Society. 148(印刷中). (2001)
Takeo Kubota: "Real Time Spectroscopic Ellipsometry Study on Growth Process of ZrO_2 Thin Films in Metallorganic Chemical Vapor Deposition"Journal of the Electrochemical Society. 148(印刷中). (2001)
复制标题
Takeo Kubota：“金属有机化学气相沉积中 ZrO_2 薄膜生长过程的实时光谱椭圆测量”，电化学学会杂志 148（出版中）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
