Shuffle-set Dislocation Nucleation in Semiconductor Silicon Device
Shuffle-set Dislocation Nucleation in Semiconductor Silicon Device
复制标题
半导体硅器件中的洗牌位错成核
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Saka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S.Izumi;H.Ohta;C.Takahashi;T.Suzuki;H.Saka
