AlN/Al2O3積層膜の構造に及ぼすスパッタ条件の影響
AlN/Al2O3積層膜の構造に及ぼすスパッタ条件の影響
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溅射条件对AlN/Al2O3叠层薄膜结构的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野瀬正照
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坪田正道;佐藤誉将;後藤慎弥;足立佳亮;松田健二;野瀬正照
