水素プラズマによる固体炭素源からの炭化水素ガスの生成特性とSiC薄膜形成への応用
水素プラズマによる固体炭素源からの炭化水素ガスの生成特性とSiC薄膜形成への応用
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氢等离子体固体碳源生成碳氢化合物气体的特性及其在SiC薄膜形成中的应用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
篠田史也，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
篠田史也，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
