K. Sugita; N. Ueno; S. Noda; S. Saito.: "Sensitivity enhancement by force development of crosslinked positive-working electron beam resists." Bull. Japan Soc. Print. Sci. Tech.24. 139-149 (1987)
K. Sugita; N. Ueno; S. Noda; S. Saito.: "Sensitivity enhancement by force development of crosslinked positive-working electron beam resists." Bull. Japan Soc. Print. Sci. Tech.24. 139-149 (1987)
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K.杉田；
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