電気化学的酸化法で作製したオキシ窒化タンタル/Ta構造とその電気的特性
電気化学的酸化法で作製したオキシ窒化タンタル/Ta構造とその電気的特性
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电化学氧化法制备氮氧化钽/Ta结构及其电学性能
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
髙橋昌男，笹嶋一輝，小山恭平，茂庭昌弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙橋昌男，末木学，宮田直仁，茂庭昌弘;髙橋昌男，笹嶋一輝，小山恭平，茂庭昌弘
