Ultra-precise continuous path control over a one-millimeter stroke by means of flexure guide and electromagnetic linear motor

Ultra-precise continuous path control over a one-millimeter stroke by means of flexure guide and electromagnetic linear motor
复制标题

通过柔性导轨和电磁线性电机在一毫米行程内实现超精确连续路径控制

DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
Proceedings of the 9th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology Volume1
影响因子：
--
通讯作者：
松田智明
松田智明
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
深田茂生;西村建太朗;松田智明

文献摘要

相似文献