原子層堆積法で成膜したNbN/AlN/NbN多層膜の 結晶性評価
原子層堆積法で成膜したNbN/AlN/NbN多層膜の 結晶性評価
复制标题
原子层沉积法NbN/AlN/NbN多层薄膜的结晶度评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大久保雅隆
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
浮辺 雅宏;藤井 剛;志岐 成友;大久保雅隆
