Y.Hatamura: "Construction of 3-D Micro Structure by Multi-face FAB,Co-focus Rotational Robot and Various Mechanical Tools" IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop 1994. 297-302 (1994)
Y.Hatamura: "Construction of 3-D Micro Structure by Multi-face FAB,Co-focus Rotational Robot and Various Mechanical Tools" IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop 1994. 297-302 (1994)
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Y.Hatamura：“通过多面 FAB、共焦旋转机器人和各种机械工具构建 3-D 微结构”IEEE 微机电系统研讨会 1994. 297-302 (1994)
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