プラズマエッチング処理ならびにAl2O3-ALD成膜プロセスを経たAlGaNエピタキシャル膜のPLライフタイム測定
プラズマエッチング処理ならびにAl2O3-ALD成膜プロセスを経たAlGaNエピタキシャル膜のPLライフタイム測定
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等离子刻蚀处理和Al2O3-ALD成膜工艺后AlGaN外延膜的PL寿命测量
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三好 実人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中島 陸;森 拓磨;細見 大樹;江川孝志;三好 実人
