Micro-patterning onto diamond like carbon coating via RF-DC oxygen plasma etching
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通过 RF-DC 氧等离子体蚀刻在类金刚石碳涂层上形成微图案
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Aizawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
相澤龍彦;杉田良雄;T.Aizawa
