Closed-loop Characterization of Noise and Stability in a Mode-localized Resonant MEMS Sensor.
Closed-loop Characterization of Noise and Stability in a Mode-localized Resonant MEMS Sensor.
复制标题
模式局部谐振 MEMS 传感器中噪声和稳定性的闭环表征。
DOI：
10.17863/cam.34138
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Pandit M
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Pandit M
