A.Ohta, S.Tazawa, Y.Sakai, M.A.Bratescu: "Relationship between the C_8F_<18> plasma and a-C:F film properties by PECVD"第21回プラズマプロセシング研究会論文集. 32-33 (2004)
A.Ohta, S.Tazawa, Y.Sakai, M.A.Bratescu: "Relationship between the C_8F_<18> plasma and a-C:F film properties by PECVD"第21回プラズマプロセシング研究会論文集. 32-33 (2004)
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A.Ohta、S.Tazawa、Y.Sakai、M.A.Bratescu：“PECVD 的 C_8F_<18> 等离子体与 a-C:F 薄膜特性之间的关系”第 21 届等离子体处理研究组论文集 32-33 (2004)。
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