A.Kono: "Measurement of electron and negative ion densities in a RF SF_6 plasma" 46th Gaseous Electronic Conference. 13 (1993)
A.Kono: "Measurement of electron and negative ion densities in a RF SF_6 plasma" 46th Gaseous Electronic Conference. 13 (1993)
复制标题
A.Kono：“RF SF_6 等离子体中电子和负离子密度的测量”第 46 届气体电子会议。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
