Processing Properties of Strong Oxidizing Slurry and Effect of Processing Atmosphere in SiC-CMP
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复制标题
SiC-CMP强氧化浆料的加工性能及加工气氛的影响
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Zhe TAN
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tao YIN;Toshiro DOI;Syuhei KUROKAWA;Osamu OHNISHI;Tsutomu YAMAZAKI;Zhida WANG;and Zhe TAN
