Dynamic driving of liquid for use of MEMS variable capacitors
Dynamic driving of liquid for use of MEMS variable capacitors
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使用 MEMS 可变电容器的液体动态驱动
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K. Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Fujii;T. Nishihara;T. Nishino;T. Furutsuka;and K. Suzuki
