Noncontact tuning fork position sensing for hollow-pyramid near-field cantilevered probes
Noncontact tuning fork position sensing for hollow-pyramid near-field cantilevered probes
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DOI：
10.1063/1.2362588
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发表时间：
2006-10-16
影响因子：
4
通讯作者：
Oesterschulze, E.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ambrosio, A.;Cefali, E.;Oesterschulze, E.
我们证明，当音叉传感应用于使用悬臂探头的近场光学显微镜时，音叉传感提供了一种稳定的、非接触的操作模式。到目前为止限制了这些非常有利的探头的实际使用的有害的阻尼效应被完全克服。我们通过一个光学纳米光刻应用来验证我们的音叉装置，该装置具有中空金字塔探头。
We demonstrate that tuning fork sensing provides a stable, noncontact mode of operation when applied to near-field optical microscopy employing cantilevered probes. Detrimental damping effects that have so far limited the practical use of these otherwise very advantageous probes are totally overcome. We validate our tuning fork setup featuring hollow-pyramid probes by an optical nanolithography application.