Microwave-Excited High-Density Plasma Column Sustained Along Metal Rod at Negative Voltage

Microwave-Excited High-Density Plasma Column Sustained Along Metal Rod at Negative Voltage
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负电压下沿着金属棒维持微波激发的高密度等离子体柱

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys., Part 2 Vol.44,No.36
影响因子:
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通讯作者:
J.Xu
J.Xu
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.Kousaka;N.Umemura;K.Ono;J.Xu

文献摘要

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