スパッタリングを用いたSi含有DLC膜におけるSi含有量依存性
スパッタリングを用いたSi含有DLC膜におけるSi含有量依存性
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使用溅射的含硅 DLC 薄膜中的硅含量依赖性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田貴之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三輪侑生，小田昭紀;上坂裕之;太田貴之
