真壁利明、栗原 優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe(10%)混合ガス-"応用物理学会講演予稿集. (2000)

真壁利明、栗原 優: "RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング-Ne/Xe(10%)混合ガス-"応用物理学会講演予稿集. (2000)
复制标题

Toshiaki Makabe、Yu Kurihara:“RF 微单元等离子体的二维建模 - Ne/Xe (10%) 混合气体 -”日本应用物理学会论文集 (2000)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献