Utilizing the coherence properties of light for optical metrology(Invited Paper)
Utilizing the coherence properties of light for optical metrology(Invited Paper)
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利用光的相干特性进行光学计量（特邀论文）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Takeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hibi;T.Furuya;Ch.T.Que;M.Tani;M.Takeda
