新型无碳前体在高k氧化物薄膜化学气相沉积上的应用
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
刘治国
中科院分区：
文献类型：
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作者：
董岩;方峰;蒋建清;李爱东;袁涛;邵起越;刘治国
